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電子與半導體工業(yè)超純水成套設備

  電子工業(yè)純水系統(tǒng)從純水制備、純水輸送與分配、純水回收三個部分組成完整的現(xiàn)代電子工業(yè)出水系統(tǒng)。

電子與半導體材料和器件制造中,需要大量幾乎接近理論程度的18+兆歐-厘米超純水。需要復雜的工藝過程和控制方案。科星水處理掌握了相關的核心技術和工程訣竅,已提供了150多套系統(tǒng)正服務于著名公司中。

    200-1000LPH標準18+兆歐-厘米超純水裝置,采用集成膜技術與拋光混床相結合工藝,一體化結構設計方案,廣泛應用于中心實驗室和中試批量生產(chǎn)中;客戶特制型超純水系統(tǒng)的最大產(chǎn)水量可達到200 M3/H,水質(zhì)符合美國ASTM 電子一級超純水標準。

 

單項目裝置規(guī)模: 15000m3/d

 


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